Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2009.06a
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  • Pages.781-782
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  • 2009
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Vibration Analysis of a Atomic Force Microscope according to the Frame Stiffness

원자현미경의 프레임 강성에 따른 진동 해석

  • 김용대 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 박기환 (광주과학기술원 기전공학과)
  • Published : 2009.06.03
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Abstract

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