Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2009.06a
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  • Pages.727-728
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  • 2009
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Nozzle design of linear cell source in organic semiconductor equipment

유기반도체 박막증착 장비의 핵심요소인 선형증착원 노즐 설계

  • 곽인철 (전남대학교 기계공학과) ;
  • 양영수 (전남대학교 기계공학과) ;
  • 최범호 (생산기술연구원 호남기술지원본부 나노기술집적센터) ;
  • 김영미 (생산기술연구원 호남기술지원본부 나노기술집적센터)
  • Published : 2009.06.03
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Abstract

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