R2F 공정을 이용한 PC소재 기반 마이크로 패턴 성형 공정 연구

Research on Micro Pattern Forming Based on Polymer Substrate Using R2F Thermal Imprinting Process

  • 전해용 (한국생산기술연구원 융복합기술연구본부) ;
  • 송정한 (한국생산기술연구원 융복합기술연구본부) ;
  • 이혜진 (한국생산기술연구원 융복합기술연구본부) ;
  • 란수화이 (아주대학교 기계공학과) ;
  • 이낙규 (한국생산기술연구원 융복합기술연구본부) ;
  • 이근안 (한국생산기술연구원 융복합기술연구본부) ;
  • 이태진 (한국생산기술연구원 융복합기술연구본부)
  • 발행 : 2009.06.03