Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2009.06a
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Pages.363-364
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2009
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Fabrication of metal nano structure using Ga ion implantation and wet etching

갈륨 이온주입과 습식식각 복합공정을 이용한 미세 금속가공

한진 (연세대학교 기계공학부) ;
김태곤 (연세대학교 기계공학부) ;
민병권 (연세대학교 기계공학부) ;
이상조 (연세대학교 기계공학부)

Published : 2009.06.03

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Abstract

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