Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2009.06a
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Pages.329-330
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2009
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Design and prototyping of multi ion beam system for machining micropattern

미세 패턴 가공을 위한 다중이온빔 장비의 설계 및 제작

김태곤 (연세대학교 기계공학부) ;
김승태 (연세대학교 기계공학부) ;
민병권 (연세대학교 기계공학부) ;
이상조 (연세대학교 기계공학부)

Published : 2009.06.03

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Abstract

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