A study on the magnetic levitation carrier in vacuum chamber

진공챔버내에서 자기부상 캐리어에 관한 연구

  • 윤동원 (한국기계연구원 지능형 생산시스템 연구본부) ;
  • 최상규 (한국기계연구원 지능형 생산시스템 연구본부) ;
  • 손영수 (한국기계연구원 지능형 생산시스템 연구본부) ;
  • 강정식 (한국기계연구원 지능형 생산시스템 연구본부) ;
  • 함상용 (한국기계연구원 지능형 생산시스템 연구본부)
  • Published : 2009.06.03