한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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Pages.679-680
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2009
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

나노패터닝 오차에 따른 DOE소자의 광학적 특성 변화

Optical properties of DOE as a function of nanopatterning error

오세원 (충북대학교 정보통신공학과) ;
김남 (충북대학교 정보통신공학과) ;
심용식 ((주)엘엠에스 연구소) ;
김영일 ((주)엘엠에스 연구소) ;
안준원 ((주)엘엠에스 연구소) ;
박정호 ((주)엘엠에스 연구소) ;
김은석 (은성디스플레이(주))

발행 : 2009.10.26

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