한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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Pages.585-586
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2009
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

초정밀 이송 스테이지용 수정압 베어링 모세관 설계에 관한 연구

Water Hydrostatic Bearing Capillary Design for Precision Motion Stages

심종엽 (한국기계연구원 초정밀기계시스템 연구실) ;
오정석 (한국기계연구원 초정밀기계시스템 연구실) ;
박천홍 (한국기계연구원 초정밀기계시스템 연구실)

발행 : 2009.10.26

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