한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2009년도 추계학술대회 논문집
- /
- Pages.585-586
- /
- 2009
- /
- 2005-8446(pISSN)
초정밀 이송 스테이지용 수정압 베어링 모세관 설계에 관한 연구
Water Hydrostatic Bearing Capillary Design for Precision Motion Stages
- 발행 : 2009.10.26