Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2009.07a
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- Pages.1589_1590
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- 2009
Measurement of Small Aspheric Lens Using the Spherical Interferometer
구면 간섭계를 이용한 소형 비구면 렌즈 검사 방법에 관한 연구
- Jang, Nam-Young (Changwon National University) ;
- Park, Kwang-Hee (Changwon National University) ;
- Song, Hui-Young (Changwon National University) ;
- Choi, Pyung-Suk (Changwon National University) ;
- Eun, Jae-Jeong (Changwon National University) ;
- Seo, Jung-Rang (EMS)
- Published : 2009.07.14
Abstract
본 논문에서는 구면 렌즈 검사를 위해 제작된 Fizeau형 위상 천이 간섭계(Fizeau-type Phase Shifting Interferometer : FPSI)에 비구면 해석 알고리즘을 적용한 소형 비구면 렌즈 해석 방법을 제안한다. 또한 본 논문에서 제안한 방법의 측정 결과와 기존 비구면 검사 시스템의 측정 결과를 비교하여 그 성능을 평가한다.
Keywords