Measurement of Small Aspheric Lens Using the Spherical Interferometer

구면 간섭계를 이용한 소형 비구면 렌즈 검사 방법에 관한 연구

  • Published : 2009.07.14

Abstract

본 논문에서는 구면 렌즈 검사를 위해 제작된 Fizeau형 위상 천이 간섭계(Fizeau-type Phase Shifting Interferometer : FPSI)에 비구면 해석 알고리즘을 적용한 소형 비구면 렌즈 해석 방법을 제안한다. 또한 본 논문에서 제안한 방법의 측정 결과와 기존 비구면 검사 시스템의 측정 결과를 비교하여 그 성능을 평가한다.

Keywords