대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2009년도 제40회 하계학술대회
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- Pages.1541_1542
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- 2009
바이오/환경 센서 응용을 위한 응답특성이 향상된 초소형 용존산소 센서
Ultra-High Responsive Dissolved Oxygen Sensor for Bio/Environmental Sensor Applications
- 이이재 (마이크로/나노 소자 및 패키징 연구실, 전자공학과, 광운대학교) ;
- 김정두 (마이크로/나노 소자 및 패키징 연구실, 전자공학과, 광운대학교) ;
- 박재영 (마이크로/나노 소자 및 패키징 연구실, 전자공학과, 광운대학교)
- Lee, Yi-Jae (Micro/Nano Devices & Packaging Lab, Department of Electronic Engineering, Kwangwoon University) ;
- Kim, Jung-Doo (Micro/Nano Devices & Packaging Lab, Department of Electronic Engineering, Kwangwoon University) ;
- Park, Jae-Yeong (Micro/Nano Devices & Packaging Lab, Department of Electronic Engineering, Kwangwoon University)
- 발행 : 2009.07.14
초록
본 논문에서는 바이오/환경센서 응용을 위해 실리콘 기판위에 나노 동공구조 백금 전극을 작동전극으로 갖는 소형화된 용존산소센서를 설계 및 제작하고 그 특성을 분석하였다. 제작된 용존산소 센서는 15 mm
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