일렉트로웨팅구동형 MEMS기반 액체렌즈

Electrowetting-based liquid lens fabricated by MEMS technology

  • 이준규 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 박경우 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 강현오 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 김재건 (경북대학교 센서 및 디스플레이공학과) ;
  • 김학린 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 공성호 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부)
  • Lee, June-Kyoo (Department of Sensor and Display Engineering, Kyungpook National University) ;
  • Park, Kyung-Woo (Department of Sensor and Display Engineering, Kyungpook National University) ;
  • Kang, Hyun-Oh (School of Electrical Engineering and Computer Science, Kyungpook National University) ;
  • Kim, Jae-Kun (Department of Sensor and Display Engineering, Kyungpook National University) ;
  • Kim, Hak-Rin (Department of Sensor and Display Engineering, Kyungpook National University) ;
  • Kong, Seong-Ho (Department of Sensor and Display Engineering, Kyungpook National University)
  • 발행 : 2009.07.14

초록

기존의 초소형 렌즈모듈들은 초점 거리 가변을 위한 구동장치가 필요하여 소형화 한계, 큰 전력소모, 부품의 기계적 결함 등 해결해야 할 부가적인 문제점들이 존재하였다. 액체렌즈는 이러한 문제를 해결할 수 있는 유력한 기술로 주목받고 있으며, 특히 부가적인 구동 장치가 필요없고 비교적 간단한 원리로 렌즈 곡률을 조절할 수 있는 일렉트로웨팅 기반의 액체렌즈는 초점 거리 조절 및 줌 조절이 필요한 휴대폰, 캡슐 내시경 등에 적용이 가능하다. 그러나 기존의 일렉트로웨팅 기반의 액체렌즈는 렌즈 캐비티의 크기에서 큰 단점이 있으며, 렌즈모듈구성 시에도 소형화하는데 한계가 존재하였다. 본 연구에서는 렌즈 캐비티를 MEMS 기술을 이용하여 실리콘 기판 상에 제작함으로써 구동회로의 집적이 가능한 액체렌즈를 제작하였다.

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