대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2009년도 제40회 하계학술대회
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- Pages.1503_1504
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- 2009
MEMS Gyroscope를 위한 feed-through 노이즈 제거 기법
Feed-through noise reduction technique for MEMS Gyroscope
- Park, Kyung-Jin (Chung-Ang University) ;
- Kang, Seong-Mook (Chung-Ang University) ;
- Kim, Ho-Seong (Chung-Ang University) ;
- Baek, Chang-Wook (Chung-Ang University)
- 발행 : 2009.07.14
초록
MEMS 구조물은
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