Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

A Study on the Fabrication of Diamond Thin-Film from Cyclo-Hexane Using MW Plasma Process

사이클로헥산을 이용한 다이아몬드 박막제작 연구

  • Han, Sang-Bo (The Department of Electrical Engineering, Kyungnam University) ;
  • Park, Sang-Hyun (The Department of Electrical Engineering, Kyungnam University) ;
  • Park, Jae-Youn (The Department of Electrical Engineering, Kyungnam University) ;
  • Lee, Seoung-Ji (The Department of Electrical Engineering, Kyungnam University) ;
  • Kwak, Tae-Young (The Department of Electrical Engineering, Kyungnam University)
  • Published : 2009.07.14
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Abstract

본 논문은 마이크로웨이브 플라즈마 프로세스에 의하여 사이클로헥산을 이용한 다이아몬드 박막 제작에 관한 산소유량 변화 및 파라메타 변화에 따른 분광분석 결과에 대하여 논하였다. 인가전력을 증가시킴에 따라서 수소원자의 $H_{\alpha}$ 및 $H_{\beta}$의 발광강도는 증가되는 반면에 CH(B-X) 발광강도는 일정하였으며, 헥산 유량을 증가시킴에 따라 CH(B-X) 라디칼의 발광강도가 증가되고, 산소유량을 증가시킴에 따라 CH(B-X) 라디칼이 산소원자와의 결합에 의해 밀도가 감소하여 발광강도가 감소되었다. 그리고, 산소가 공급되지 않은 경우에는 비정질 또는 DLC 성분이 많이 함유된 결정성이 거의 없는 다이아몬드 박막이 성장되었으며, 산소유량을 증가시킴에 따라서 결정 표면에 잔존하는 미결합 탄소성분들이 제거되면서 결정성이 향상됨을 알 수 있었다. 본 연구를 통하여 유기용매인 사이클로헥산을 이용하여 다이아몬드 박막이 성장됨을 확인할 수 있었다.

Keywords