한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

$Cl_2$/Ar 플라즈마에서 $ZrO_2$ 박막에 첨가된 가스의 식각속도 효과

The Etch rate Effect of Additive Gas In $ZrO_2$ Thin Film Using $Cl_2$/Ar Plasma

  • 우종창 (중앙대학교, 전자전기공학부) ;
  • 김동표 (중앙대학교, 전자전기공학부) ;
  • 엄두승 (중앙대학교, 전자전기공학부) ;
  • 김창일 (중앙대학교, 전자전기공학부)
  • 발행 : 2008.11.19
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