Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

A Study for Electrical Properties of Organic-Inorganic Hybrid TFT on Surface Treated Organic Gate Insulator by $O_2$ Plasma

  • 공수철 (단국대학교, 전자공학과) ;
  • 최진은 (단국대학교, 전자공학과) ;
  • 정우호 (한양대학교, 신소재공학과) ;
  • 최용준 (연세대학교, 세라믹공학과) ;
  • 전형탁 (한양대학교, 신소재공학과) ;
  • 박형호 (연세대학교, 세라믹공학과) ;
  • 류상욱 (단국대학교, 전자공학과) ;
  • 장호정 (단국대학교, 전자공학과)
  • Published : 2008.11.19
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Abstract

LCD, OLED 등의 평판디스플레이와 RFID tag, smart card 등의 구동 소자 등 넓은 산업 분야에 적용하기 위하여 PVP 유기물과 병합된 ZnO 산화물을 이용하여 차세대 박막트랜지스터의 제작 공정과 전기적 특성을 조사하였다. 또한 제작된 박막트랜지스터의 전기적 특성을 향상시키기 위하여 유, 무기 박막의 특성을 분석하고, $O_2$ plasma 처리를 통하여 유-무기 박막간 계면 접합력 및 계면 효과의 변화특성이 OITFT 특성에 미치는 영향을 조사하였다.

Keywords