한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2008년도 추계학술대회 초록집
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- Pages.17-17
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- 2008
입자 모델을 이용한 평판 마그네트론 스퍼터링 음극의 전자 운동 분석
Electron trajectories analysis in a planar magnetron sputtering cathode by a particle model
초록
3차원 입자 모델을 이용하여
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