Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

iXH Pump - New Next Generation Dry Vacuum Pump for Semiconductor and FPD Industry

  • 전욱배 (에드워드코리아주식회사) ;
  • 이종헌 (에드워드코리아주식회사) ;
  • 김효배 (에드워드코리아주식회사) ;
  • 주장헌 (에드워드코리아주식회사) ;
  • 김중조 (에드워드코리아주식회사)
  • Published : 2008.08.20
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