Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Ejector를 이용한 진공 펌프의 소비 전력 절감

  • 김효배 (에드워드코리아주식회사) ;
  • 주장헌 (에드워드코리아주식회사) ;
  • 박태진 (삼성전자(주) 메모리 사업부 생산기술 2팀) ;
  • 채승기 (삼성전자(주) 메모리 사업부 생산기술 2팀)
  • Published : 2008.08.20
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