대향타겟식 스터터를 이용한 ITO박막의 산소 가스의 유량에 따른 효과

• Kim, Yeon-Jun ;
• Jin, Su-Bong ;
• Kim, Seong-Il ;
• Bao, Sarula ;
• Choe, Yun-Seok ;
• Choe, In-Sik ;
• Han, Jeon-Geon

• 김연준 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 신소재공학과, 성균관대학교) ;
• 진수봉 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 신소재공학과, 성균관대학교) ;
• 김성일 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 신소재공학과, 성균관대학교) ;
• ;
• 최윤석 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 신소재공학과, 성균관대학교) ;
• 최인식 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 신소재공학과, 성균관대학교) ;
• 한전건 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 신소재공학과, 성균관대학교)

• Published : 2008.08.20

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