유도 결합 플라즈마 스퍼터링 법에 의해 합성된 ITO 박막의 전기적 특성

• 신경식 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재 공학과) ;
• 최윤석 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재 공학과) ;
• 최인식 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재 공학과) ;
• ;
• 한전건 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재 공학과)

• Sin, Gyeong-Sik ;
• Choe, Yun-Seok ;
• Choe, In-Sik ;
• Setsuhara, Y. (Joining and Welding Research Institute, Osaka university) ;
• Han, Jeon-Geon

• 발행 : 2008.08.20

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