Internal Antenna-type 유도결합플라즈마 장치를 이용한 나노결정질 실리콘 증착에 관한 연구

  • 이형철 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 홍승표 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 2008.08.20