Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2008.08a
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Pages.301-301
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2008

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

Remote방식의 대기압 플라즈마 장치를 이용한 $SiO_2$ 박막 증착 및 특성 연구

김양수 (성균관대학교 신소재공학과) ;
이준희 (성균관대학교 신소재공학과) ;
염근영 (성균관대학교 신소재공학과)

Published : 2008.08.20

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