Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.08a
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- Pages.301-301
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- 2008
Remote방식의 대기압 플라즈마 장치를 이용한 $SiO_2$ 박막 증착 및 특성 연구
- Published : 2008.08.20
Abstract
Keywords