한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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- Pages.297-297
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- 2008
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 $SiO_x$ 박막연구
- 발행 : 2008.08.20