Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 $SiO_x$ 박막연구

  • 정유정 (한국기계연구원 부설재료연구소) ;
  • 윤정흠 (한국기계연구원 부설재료연구소) ;
  • 이성훈 (한국기계연구원 부설재료연구소) ;
  • 이건환 (한국기계연구원 부설재료연구소)
  • Published : 2008.08.20
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Abstract

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