Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.08a
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- Pages.282-282
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- 2008
대면적/고주파 축전결합 플라즈마에서의 플라즈마 불균일 현상 및 이의 극복
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An, Seung-Gyu
(KAIST) ;
- Na, Byeong-Geun (KAIST) ;
- Kim, Yong-Hun (KAIST) ;
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Jang, Hong-Yeong
(KAIST)
- Published : 2008.08.20
Abstract
Keywords