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한국진공학회
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한국진공학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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Pages.269-269
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2008
한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
ITO Etchant Out-gassing 제거를 위한 Clean room 구조 개선에 관한 연구
김종대
(삼성전자공과대학교) ;
김용수
(삼성전자 LCD 총괄 HD사업부) ;
이정윤
(MEMORY사업부 공정개발 P&D Part)
Kim, Jong-Dae
(SSIT) ;
Kim, Yong-Su
;
Lee, Jeong-Yun
발행 : 2008.08.20
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