DC 마그네트론 스퍼터링으로 플리머 기판에 합성된 탄소 배리어 박막의 특성에 대한 고찰

• 진수봉 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재공학과) ;
• 김성일 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재공학과) ;
• 최윤석 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재공학과) ;
• 최인식 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재공학과) ;
• 한전건 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재공학과)

• Jin, Su-Bong ;
• Kim, Seong-Il ;
• Sarula, Bao ;
• Choe, Yun-Seok ;
• Choe, In-Sik

• 발행 : 2008.08.20

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