Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2008.08a
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Pages.229-229
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2008

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

Change in the band alignment of silicon oxynitride films as a function of plasma nitridation condition

임찬중 (연세대학교 세라믹공학과) ;
조만호 (연세대학교 물리학과) ;
이동원 (뉴파워플라즈마(주)) ;
구병희 (뉴파워플라즈마(주)) ;
고대홍 (연세대학교 세라믹공학과)

Published : 2008.08.20

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Abstract

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