액상 Cu(II) 전구체의 개발 및 ALD 증착 특성 연구

• 강상우 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
• 윤주영 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
• 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
• 나정길 (성균관대학교 기계공학과) ;
• 최재봉 (성균관대학교 기계공학과) ;
• 김태성 (성균관대학교 기계공학과) ;
• 서경천 (대전대학교 신소재공학과) ;
• 신재수 (대전대학교 신소재공학과) ;
• 양일두 ((주)큐리프) ;
• 심재용 ((주)큐리프)

• Gang, Sang-U ;
• Yun, Ju-Yeong ;
• Sin, Yong-Hyeon ;
• Na, Jeong-Gil ;
• Choe, Jae-Bong ;
• Kim, Tae-Seong ;
• Seo, Gyeong-Cheon ;
• Sin, Jae-Su ;
• Yang, Il-Du ;
• Sim, Jae-Yong

• 발행 : 2008.08.20

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