Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.08a
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- Pages.208-208
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- 2008
액상 Cu(II) 전구체의 개발 및 ALD 증착 특성 연구
- Gang, Sang-U ;
- Yun, Ju-Yeong ;
- Sin, Yong-Hyeon ;
- Na, Jeong-Gil ;
- Choe, Jae-Bong ;
- Kim, Tae-Seong ;
- Seo, Gyeong-Cheon ;
- Sin, Jae-Su ;
- Yang, Il-Du ;
- Sim, Jae-Yong
- 강상우 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 윤주영 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 나정길 (성균관대학교 기계공학과) ;
- 최재봉 (성균관대학교 기계공학과) ;
- 김태성 (성균관대학교 기계공학과) ;
- 서경천 (대전대학교 신소재공학과) ;
- 신재수 (대전대학교 신소재공학과) ;
- 양일두 ((주)큐리프) ;
- 심재용 ((주)큐리프)
- Published : 2008.08.20
Abstract
Keywords