반도체 공정용 드라이펌프의 에너지 소비 분석

• 최학용 (건양대학교) ;
• 임종연 (한국표준과학연구원) ;
• 정완섭 (한국표준과학연구원) ;
• 박상명 (한국연합대학원) ;
• 문병훈 ((주)삼성전자 생산기술2팀) ;
• 신용현 (한국표준과학연구원)

• Choe, Hak-Yong ;
• Im, Jong-Yeon ;
• Jeong, Wan-Seop ;
• Park, Sang-Myeong ;
• Mun, Byeong-Hun ;
• Sin, Yong-Hyeon

• 발행 : 2008.08.20

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