Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.08a
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- Pages.193-193
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- 2008
반도체 및 디스플레이 공정용 진공부품의 내식 성능평가 연구
- Yu, Seung-Min ;
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Yun, Ju-Yeong
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Gang, Sang-U
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Sin, Yong-Hyeon
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- Na, Jeong-Gil ;
- Seo, Gyeong-Cheon ;
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Sin, Jae-Su
- 유승민 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
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윤주영
(한국표준과학연구원 진공센터)
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강상우
(한국표준과학연구원 진공센터)
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신용현
(한국표준과학연구원 진공센터)
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- 나정길 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 서경천 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
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신재수
(대전대학교 신소재공학과)
- Published : 2008.08.20
Abstract
Keywords