한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Deposition of carbon nitride thin films by using radical source

  • 노기민 (KAIST 신소재공학과) ;
  • 최시경 (KAIST 신소재공학과) ;
  • 유신재 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 김정형 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 성대진 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터)
  • 발행 : 2008.08.20
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