한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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- 2008
하이브리드 코팅 시스템을 이용한 Ti-Si-N 박막의 Si 함량에 따른 열화학적 특성 및 기계적 특성 평가
Effect of Si Content on Thermal Stability and Mechanical Properties of Ti-Si-N Films using Hybrid Coating System
- 발행 : 2008.08.20