인라인 스퍼터링 진공 증착장치를 이용한 ITO 투명 도전 박막의 전기적.광학적 특성

  • 안민형 (경원대학교 전기전자공학과) ;
  • 권상직 (경원대학교 전기전자공학과) ;
  • 조의식 (경원대학교 전기전자공학과)
  • Published : 2008.08.20