02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2008.08a
/
Pages.116-116
/
2008
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
대향타겟식 스퍼터링법을 이용하여 제작한 태양전지용 AZO 박막의 특성
Jeong, Yu-Seop
;
Kim, Sang-Mo
;
Kim, Gyeong-Hwan
정유섭
(경원대학교 전기공학과) ;
김상모
(경원대학교 전기공학과) ;
김경환
(경원대학교 전기공학과)
Published : 2008.08.20
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