Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

대향타겟식 스퍼터링법을 이용하여 제작한 태양전지용 AZO 박막의 특성

  • 정유섭 (경원대학교 전기공학과) ;
  • 김상모 (경원대학교 전기공학과) ;
  • 김경환 (경원대학교 전기공학과)
  • Published : 2008.08.20
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