한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Al doped ZnO 박막의 원자층 증착법(ALD)

  • 신웅철 ;
  • 최규정 (충남대학교 재료공학과) ;
  • 정현준 (충남대학교 재료공학과) ;
  • 윤순길
  • Sin, Ung-Cheol (NCD Technology) ;
  • Choe, Gyu-Jeong (NCD Technology) ;
  • Jeong, Hyeon-Jun ;
  • Yun, Sun-Gil
  • 발행 : 2008.08.20
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