Al doped ZnO 박막의 원자층 증착법(ALD)

  • Sin, Ung-Cheol (NCD Technology) ;
  • Choe, Gyu-Jeong (NCD Technology) ;
  • Jeong, Hyeon-Jun ;
  • Yun, Sun-Gil
  • 신웅철 ;
  • 최규정 (충남대학교 재료공학과) ;
  • 정현준 (충남대학교 재료공학과) ;
  • 윤순길
  • Published : 2008.08.20