Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Al-doped ZnO thin film process optimization on glass with RF magnetron sputtering method

  • 노영수 (한국과학기술연구원) ;
  • 이상엽 (한양대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
  • 최원국 (한양대학교 전자전기컴퓨터공학부)
  • Published : 2008.08.20
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