Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2008.08a
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- Pages.102-102
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- 2008
$Cl_2$ /Ar 가스를 이용한 Gallium Indium Zinc Oxide (GIZO) 박막에 대한 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각
- Published : 2008.08.20
Abstract
Keywords