불순물을 주입한 텅스턴 박막의 확산방지 특성과 박막의 물성 특성연구

  • 김수인 (국민대학교 나노전자물리학과) ;
  • 이창우 (국민대학교 나노전자물리학과)
  • 발행 : 2008.08.20