Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

나노급 수소화된 비정질 실리콘 두께에 따른 저온 니켈실리사이드 물성 변화

  • 김종률 (서울시립대학교 신소재공학과) ;
  • 최용윤 (서울시립대학교 신소재공학과) ;
  • 송오성 (서울시립대학교 신소재공학과)
  • Published : 2008.08.20
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