LB 방법을 이용한 나노미터 규격의 균일한 폴리머 배열 및 이를 이용한 폴리머 리소그래피 구현

  • 윤정호 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 노용한 (성균관대학교 정보통신공학부)
  • Published : 2008.08.20