전기히터-연소 Hybrid scrubber를 이용한 $CF_4$$SF_6$의 열분해 연구

Thermal Decomposition of $CF_4$ and $SF_6$ Using Electric Heater-burner Hybrid Scrubber

  • 정민수 (숭실대학교 환경화학공학과) ;
  • 이용진 (숭실대학교 환경화학공학과) ;
  • 장인수 (숭실대학교 환경화학공학과) ;
  • 허완수 (숭실대학교 환경화학공학과) ;
  • 권혁회 (숭실대학교 환경화학공학과)
  • 발행 : 2008.10.13