A Study on the Necessity for Energy Saving Techniques and Improvement of Dependability of Clean room

클린룸의 에너지 절약 기술 개발과 신뢰성 향상의 필요성에 관한 연구

  • 김종걸 (성균관대학교 시스템경영공학과) ;
  • 김형만 (상지대학교 경영정보학과, 성균관대학교 산업공학과) ;
  • 김영섭 (성균관대학교 산업공학과) ;
  • 고재규 (성균관대학교 산업공학과) ;
  • 최성원 (성균관대학교 산업공학과) ;
  • 조국형 (성균관대학교 시스템경영공학과)
  • Published : 2008.11.15

Abstract

Since korea must get 5.2% reduction of green gas emission and insecurity of economic impact is on the increase due to unstable oil market, the demands of energy saving techniques are increasing. In this paper, we investigate necessity of development of enormous energy used cleanroom energy saving techniques furthermore we also investigate the adoption of dependability management system to develop the energy saving cleanroom development process.

Keywords