미세부품가공을 위한 이온빔 가공장치의 RF 이온원 방전 특성 연구

Characterization of RF Ion Source for Nanofabrication

  • 김종국 (한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구부) ;
  • 김도근 (한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구부) ;
  • 강재욱 (한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구부)
  • 발행 : 2008.06.11