한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.631-632
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- 2008
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- 2005-8446(pISSN)
유한요소해석을 이용한 나노패턴용 메가소닉의 설계 및 성능평가
Design of a Megasonic for Nano-pattern Cleaning using Finite Element Methods with Performance Evaluation
- 발행 : 2008.06.11