Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2008.06a
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Pages.611-612
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2008
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Development of AFM Using PSM Nano-Stage

PSM 나노스테이지를 적용한 AFM 개발

이득우 (부산대학교 나노과학기술학부 나노시스템공학과) ;
최수창 (부산대학교 나노과학기술학부 나노융합기술학과) ;
김용우 (부산대학교 나노과학기술학부 나노융합기술학과) ;
박정우 (부산대학교 ILIC)

Published : 2008.06.11

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Abstract

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