Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2008.06a
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Pages.583-584
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2008
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Fabrication of Micropatterned-Roll using Lithography Process

리소그래피 공정을 이용한 미세패턴-롤 제작

조정대 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
유종수 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
김광영 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
최병오 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
이응숙 (한국기계연구원 나노기계연구본부)

Published : 2008.06.11

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